SCI　【Sputtering Components Inc.】
ロータリーカソード・ドライブユニット
円筒ターゲット駆動装置
ターゲット使用効率が最大90％まで向上！

●ターゲット使用効率：最大95%　【揺動式マグネットバー使用時】

●標準マグネットバー、揺動式マグネットバー、強磁場マグネットバーを選択可能
●平面カソードから容易な改造：垂直・水平搭載可能、完全片持ち
●ハイパワー投入可能：60kw at 1m ターゲット【AC,DC共通】
●ターゲット交換：7分以内　【以下動画をご参照ください。】
●アーキングの低減：回転する為、ノジュールの成長無し

●対応可能ターゲット：
ZnAl,SiAl,Cr,Nb,Ti,Sn,Ag,AZO,GZO,ZnO,Mo,pure-Si,NiCr,ITO,In,Cu,Cu-Ga等

円筒・平板ターゲットの詳細は右をクリックしてください。

仕様
ターゲット回転速度
1rpm〜15rpm【標準設定】
バッキングチューブ寸法
内径125mm ｘ 外径133mm　x　長さ　200から5000mmまで
円筒ターゲット厚み
最大ターゲット直径175mmまで【厚み21mm】

円筒ターゲット長さ
200mm〜5000mmまで対応可能
エンドブロックサイズ
幅160mmｘ縦150mmｘ高190mm 【小型タイプ】
＊カスタム対応も可能【数量によります。】
アプリケーション
建築用ガラス、フラットパネルディスプレイ、太陽電池、タッチパネル、等のスパッタ成膜
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SCJ

担当　樋口

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TEL: 050-3550-0824 FAX: 047-396-7765
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