ロータリーカソード・ドライブユニット
〜 Sputtering
Components, Inc.〜
ターゲット使用効率を90%にまで引き上げます
主な技術仕様
情報機器部 第一課 TEL:03-5472-1722 / FAX:03-5472-1720
特 徴
【写真】 600ｍｍ 縦型搭載モデル
【写真】エンドブロック ・小型タイプ
幅160mmｘ縦150mmｘ高190mm 【小型タイプ】
エンドブロックサイズ
200mm〜5000mmまで対応可能
ターゲット長さ
標準 5インチ【127mm】
ターゲット直径
1rpm〜50rpm
ターゲット回転速度
回転する為、ノジュールの成長無し
アーキングの低減
5分以内 【1mターゲットの場合】
ターゲット交換
ZnAl,SiAl,Cr,Nb,Ti,Sn,Ag等
対応可能ターゲット
60kw at 1m ターゲット【AC,DC共通】
ハイパワー投入可能
最大90%
ターゲット使用効率
垂直・水平搭載可能、完全片持ち
平面カソードから容易な改造
リンク集