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光屈折率・光伝搬損失・膜厚 測定装置 プリズムカプラ「SPA-4000」 |
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製品名 |
光屈折率・光導波損失・膜厚 測定装置 プリズムカプラ 「SPA-4000」 |
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製造所 |
韓国・Sairon Technology, Inc |
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用途 |
ポリマー、SiO2、その他素材の光屈折率・光伝搬損失・膜厚測定 |
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特徴 |
光伝搬損失を±0.01dB/cmの再現精度で測定可能 (SiO2の場合） |
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液体の光屈折率を測定可能 |
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基板上の2層の上下層薄膜を下層についての光屈折率、膜厚が分かっていなくても測定可能 （上下層で合計7モード以上検出できた場合） |
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基板上の2層の上層薄膜を1モード検出のみで測定可能 （下層についての光屈折率、膜厚が分かっている場合） |
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モーター最小分解能0.0025mm毎にデーターを採集 |
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2層測定の場合、微小な上下層の光屈折率差でも個別測定可能 （633nmレーザー測定での場合、デルタ0.01%以上で測定可能） |
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仕様 |
基板上の薄膜の場合 (光屈折率＋膜厚同時測定） |
光屈折率測定可能範囲 |
1.0〜2.45 |
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再現精度 |
0.001 |
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データ分解能 |
±0.0005 |
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膜厚測定可能範囲 |
0.4um-30um |
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再現精度 |
±(0.5%+50Å) |
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データ分解能 |
±0.3% |
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バルクフィルムの場合 （光屈折率のみ測定可能） |
光屈折率測定可能範囲 |
1.0〜2.45 |
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再現精度 |
0.0005 |
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データ分解能 |
±0.0001 |
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基板上の厚膜の場合 （膜厚の測定のみ可能） |
膜厚測定可能範囲 |
2um-150um |
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液体の場合 （光屈折率のみ測定可能） |
液体光屈折率測定 |
1.0 〜2.45 |
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再現精度 |
± 0.0005 |
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オプション |
光屈折率温度依存性測定 |
測定可能温度範囲 |
室温〜100℃ |
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オプション |
光伝搬損失測定 |
再現精度（SiO2の場合） |
±0.01dB/cm |
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再現精度（ﾎﾟﾘﾏｰの場合） |
±0.05dB/cm |
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納期 |
ご注文請け後70日（標準） |
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価格 |
お問合せ下さい |
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詳細 |
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メーカーWEB |
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お問合せ先 （代理店） |
情報機器第一部 第一課 樋口 朝暁 〒105-0001 東京都 港区 虎ノ門3-8-21
33森ビル4F TEL：(03)5472-1722 FAX：(03)5472-1720 E-mail：問い合わせ |
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