三次元光複屈折率・膜厚 測定装置
プリズムカプラ SPA-3DR
韓国・Sairon Technology, Inc.
フィルムのX軸、Y軸、Z軸の光屈折率を回転しながら測定
特徴
情報機器部 第一課 TEL:03-5472-1722 / FAX:03-5472-1720
主な技術仕様
【写真】 試料回転テーブル
透明フィルム、透明フィルム上の薄膜、石英、液体
測定対象
FPD用フィルム、SiO2等の３次元複屈折率測定
用途
X-Y軸間を、0.05°の精度で回転し、任意の位置で測定
複屈折率測定
2層の光屈折率、膜厚を仮定値無しで個別に同時測定
多層薄膜
405nm-1550nmの範囲で、4種まで搭載可能
搭載レーザー
【写真】SPA-3DR
1.0 -2.45±(0.001) at 405–1550nm
光屈折率
0.4um-150um±(0.5%)
膜厚
室温〜150℃
光屈折率温度依存測定
回転範囲：180°（分解能：0.05°）
回転テーブル
【リンク集】