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光複屈折率･光伝搬損失･膜厚測定装置
プリズムカプラ：SPA-4000 |
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±0.01dB/cmでロス、0.05度刻みで回転しながら光複屈折率測定 |
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 ･ 400nmから1550nmの範囲で、任意のレーザーを最大4種搭載可能 ･ マッチングオイル法により、光伝搬損失を±0.01dB/cmの再現精度で測定可能 ･ 回転テーブルで、試料を分解能0.05度で正確に回転させながら複屈折率を測定 ･室温から150℃まで試料を加熱し、 温度と光屈折率の相関を解析 ･ 液体の光屈折率を測定可能 ･ 合計7モード以上検出できた場合、上下層それぞれの光屈折率･膜厚を一切の仮定値なく測定可能
･下層の光屈折率、膜厚が分かっている場合、 合計1モード検出のみで上層の光屈折率･膜厚を測定可能
･2層測定の場合、 微小な上下層の光屈折率差でも個別測定可能
| 必要最小デルタ |
633nm |
0.01%以上 |
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830nm |
0.2%以上 |
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1310nm |
0.3% 以上 |
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1550nm |
0.3% 以上 |
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基板上の薄膜
-.単層並びに2層の測定可能
-.光屈折率＋膜厚同時測定 |
搭載可能レーザー種 【註1】 |
400-1600nm |
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光屈折率測定可能範囲 |
1.0〜2.45 |
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再現精度 |
±0.001 |
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膜厚測定可能範囲 【註2】 |
0.4um-30um |
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膜厚精度 |
±0.5% |
| 膜厚表示分解能 |
±0.01um |
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バルクフィルム 及び 液体
-.光屈折率のみ測定可能 |
光屈折率測定可能範囲 |
1.0〜2.45 |
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再現精度 |
±0.0005 |
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オプション |
温度依存性 ユニット |
温度可変範囲 |
室温〜150℃ |
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光伝搬損失 ユニット |
再現精度（SiO2の場合） |
±0.01dB/cm |
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3DR回転ﾃｰﾌﾞﾙ ユニット |
複屈折率の高精度測定 |
回転分解能：0.05° |
| 厚膜測定 ユニット |
膜厚測定可能範囲 |
2um-150um |
| TMフィルター ユニット |
ＴＭ波での光屈折率測定 |
1.0〜2.45 |
註1：最大４種類のレーザーを搭載可能です。詳細は、以下基本仕様書をご参照ください。
註2：30um以上の試料は、光屈折率のみの測定となります。
客先でご準備いただくもの 【当方でもオプションとして手配可能】
●ベビーエアコンプレッサー
-.必要圧力:
0.5Mps〜0.8Mps
-.エアチューブ直径: 標準4mm
（6mm, 8mmもアダプターがありますので装置へ接続可能です。)
●PC
-.ペンティアム3以上
-. 本体とのコミュニケーションインターフェース: RS232 （シリアルポート）
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光導波路、ディスプレイ、光/磁気記録媒体、光学素子、IC製造工程等 |
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一般資料 基本仕様書 取扱い説明書 ﾌﾟﾘｽﾞﾑｶﾌﾟﾗとは? ﾏｯﾁﾝｸﾞｵｲﾙ法とは?
温度依存性測定 光損失測定 液体測定 他社製品比較 日本語一般
参考 弊社指定内示書 試料作成ガイド 新商品一覧
●開けないファイルは保護をかけております。パスワードは以下へお問合せください。
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御見積：
以下へご連絡ください。貴社仕様に合わせて御見積致します。その際に、御支払い方法、設置場所等をご相談させて頂きます。
デモ測定：
試料を頂戴しましたら、当方で測定し、データをつけて返送致します。通常サンプルをお借りして２週間以内に御戻しできます。試料の作成方法は、試料作成ガイドをご参考ください。
立会いを希望される場合には、搭載オプションにより日本にない場合が御座いますので、事前にその旨お申し付けください。
納期について：
納期は、搭載するオプションにもよりますが、通常御注文請け後90日程度頂いております。
据付設置について：
当方で、貴社指定場所まで搬入し、設置致します。
通常2時間程度で完了致します。
トレーニングについて：
測定方法についてのトレーニングは、据付完了後、行います。通常４時間程度で完了致します。 |
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情報機器部 第一課
担当：樋口、関
電話番号：03-5472-1722 FAX:03-5472-1720
E-maiｌ: こちらをクリック
住所：〒105-0001 東京都港区虎ノ門3-8-21 虎ノ門33森ビル4F
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