装置構成が、クラスタータイプになっており、一台で、蒸着 + スパッタ + パレリン + グローブボックス + ロードロックのチャンバーを持っています。大学、研究所、企業の研究開発での有機ＥＬ膜開発に最適です。

Substrate : Max.100×100 glass, 4inch wafer
Tact time : 20~80min- Depends on the number of mask
Loading Capacity : Glass 1 sheet, Mask 4 sheet
Transfer Method : Vacuum Robot
Substrate rotation in process
Vacuum Performance : Deposition < 2E-7Torr
Plasma Treatment : Optional
Alignment accuracy : Mechanical, less than ±50um
Evaporation Source for organic(5ea) : 10cc for host, 4cc for dopant
Evaporation source for metal(2ea) : Thermal source, E-Beam is optional
Deposition uniformity : Organic, Metal, sputter less than ±3%
Max. deposition rate : organic 5A/sec, metal 10A/sec
Rate Accuracy : organic ±5%, Metal ±7%
Thickness reliability : Organic & Metal ±5% glass to glass
Doping ratio less than 1% at 1A/sec of host
Conductive Oxide : Low damage sputtering(FTS or general sputter)
Thin Film Passivation : Parylene coating & inorganic coating
Glove Box : H2O, O2 less than 0.1ppm
Fully automation System(Option)

註1：上記は例であり、客先の要求仕様に応じ、カスタムで設計します。

PMOLED, AMOLED on glass & wafer Mono/Area/Full Color Lighting

PRムービー　SNTEK製品案内

新商品一覧　弊社指定内示書　

●開けないファイルは保護をかけております。パスワードは以下へお問合せください。

註：PDFをご覧頂くには、Adobe Readerが必要です。>>Adobe Readerをダウンロード

御見積：
以下へご連絡ください。貴社仕様に合わせて御見積致します。その際に、御支払い方法、設置場所等をご相談させて頂きます。

納期について：
都度、ご連絡させて頂きます。

据付設置について：
当方で、貴社指定場所まで搬入し、設置致します。

トレーニングについて：
操作方法についてのトレーニングは、据付完了後、行います。

情報機器部　第一課
担当：樋口
電話番号：03-5472-1722　FAX:03-5472-1720
E-maiｌ:　こちらをクリック
住所：〒105-0001　東京都港区虎ノ門3-8-21　虎ノ門33森ビル4F