切削工具金型コーティング

切削工具金型コーティング装置

ホロカソード、スパッタ、アークイオンのそれぞれで独立成膜可能なPVD複合機

インサート、ドリル、エンドミル、その他切削工具、金型、意匠鋼板、カラーリングに対応

TiN, TiAlN, TiCN, ZrN , CrN, AlTiN, TiSiN, TiAlSiN, DLC, 等を成膜可能

低価格・リースナブルな装置価格で貴社の設備投資を大幅に低減

韓国・ISYS,Inc

ハイブリッドPVD装置　iシリーズ　　【写真左：i-90A】	【下図：チャンバー内部】

装飾部品のTiNコーティング

工業部品のTiNコーティング

工具のTiAlNコーティング

利点

・スパッタ成膜用、アークイオン成膜用の前処理として、イオン化率90%以上のホロカソード（HCD)でのエッジング/ボンバーディングが可能。それにより高密着度、高表面平滑度を実現　【標準】

・ワンチャンバーに、ホロカソード（HCD)、アークイオンガン、スパッタガンの3ソースを搭載可能且つ、それぞれで独立成膜可能な為、開発機に最適　【オプション】

・基板用バイアス電源として、DC電源とRF電源を切り替えられる為、DLCのコーティングにも対応可能【オプション】

・完全フルオートソフトにより、ボタンひとつで完全自動生産。完了時アラーム通知。もちろんマニュアル操作も可能。タイマー機能の搭載も可能【オプション】

・貴社の要求仕様に応じ、チャンバーサイズ、ソース数、バッチ式、インライン式等を個別設計可能

・他社製装置の50-80％の設備投資で導入可能

成膜方法

ホロカソードアシスト式アークイオンプレーティング法 or ホロカソードアシスト式スパッタリング法

ｺｰﾃｨﾝｸﾞ膜種

TiN, TiCN, TiAlN, ZrN, DLC,　CrN 等

用途

自動車、工具、電子部品、装飾品等のハードコーティング　

特徴

●　IEGD(Ion Enhanced Glow Discharge) 方式の採択で高界面密着力

●　高い薄膜密着率　Arc > Sputter > E/B

●　HCDにより、90 ％以上のイオン化率

●　高エネルギーのイオン蒸着 (60-100eV)

試作

ご評価用に、初回のみ無償でコーティングさせて頂きます。

メーカーH.P

http://www.isysinc.co.kr/J_index.htm　

詳細資料

一般カタログ

iBシリーズ　　：【新製品】大面積イオンドーピング装置

価格表【概算】　【パスワードは以下へお尋ねください。】

リンク

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