ロータリーカソード・スパッタリングターゲット
〜 Process
Materials,
Inc.〜
シリンドリカルターゲットも供給可能です
供給可能ターゲット例
株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン
TEL:050-3550-0824 / FAX:047-396-7765
TEL:050-3550-0824 / FAX:047-396-7765
【写真】 シリンドリカルターゲット
【写真】 ターゲット・蒸着ペレット
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Pt
工法： 溶射（円筒）、キャスト、HIP等対応可能
２〜４元素系合金は、別途お問い合わせください
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ITO
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Ru
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Ag
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C
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Cr
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Ti
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Al
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Sn
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Nb
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△(ZnAl)
Zn
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△(SiAl)
Si
ペレット
平面
円筒
【写真】 無酸素銅バッキングプレート
【リンク集】